单电子枪倾斜式真空镀膜系统(Is improving)
清华大学
THERMIONICS公司,DE-14
北京市
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检测范围

电子束沉积系统;实现对单种材料的倾斜生长制备纳米结构

仪器参数

真空度最好打10-6 Pa;基片可以加热和冷却,样品台可以-90o至90o倾斜以及连续自传。单电子枪沉积系统

仪器特色&服务特色

张政军课题组,制备银纳米棒表面增强拉曼基底,钛、铁等纳米棒结构
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