超高真空镀膜仪(Is improving)
清华大学
美国SCT公司,SCTES-15CUHV
北京市
我们目前尚未与清华大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器,建议您联系相关单位,以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求,委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试,我们将为您提供以下保障:

检测范围

电子束蒸发镀膜,四个坩埚,可镀单层膜也可镀多层膜,多层膜最多可分层镀四种不同靶材。

仪器参数

极限真空1.7*10-10torr,一般工作真空1.0-9.9*10-8torr,电子枪高压约8Kv,电子枪电流0-750mA,镀膜速率控制0.1-0.4A/S

仪器特色&服务特色

清华大学材料学院柳百新研究组
如果找不到合适的仪器,您可以提交您的需求,由我们帮您匹配最优的服务商 提交需求