检测范围
标准直径15mm,最大可容纳长度约40mm样品(只测试样品中心区域)自动样品台30um (最大40um)5um ?(最大7um)<60pm Adv值<50pm Adv值?(一般高分辨率成像下z方向不需要闭环控制,开环噪音为4pm Adv)
仪器参数
标准直径15mm,最大可容纳长度约40mm样品(只测试样品中心区域)自动样品台30um (最大40um)5um ?(最大7um)<60pm Adv值<50pm Adv值?(一般高分辨率成像下z方向不需要闭环控制,开环噪音为4pm Adv)
仪器特色&服务特色
清华大学