检测范围
结合Veeco最新的行业领先的针尖-扫描AFM技术，Icon的温度补偿定位传感器使Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级，X-Y方向达埃米级。在大样品台、90微米扫描范围系统的仪器当中，这种表现是非常突出的，优于绝大部分的开环、高分辨率AFM系统的噪音水平。
仪器参数
X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um 垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz） X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz） X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz） Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz） 整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值
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