条形离子源(Is improving)
清华大学
Veeco,6-22RF-INT
北京市
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检测范围

离子束流大、能量高;重复性好;

仪器参数

束流尺寸:6cm×22cm;最大束流:350mA;束流能量:100eV-1500eV;气体流量:10-20SCCM Ar;

仪器特色&服务特色

用于离子束刻蚀机
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