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离子束刻蚀机(Is improving)
清华大学
海淀凯友科技开发公司，LKJ-1C-150
北京市
我们目前尚未与清华大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

稳定性和重复性好；均匀性好；刻蚀选择比高；易于拆装、清洗；

仪器参数

刻蚀气体：CF4、CHF3、Ar、O2；离子光学：双光栅；栅极材料：石墨；离子源尺寸：φ150mm；

仪器特色&服务特色

用于全息光栅的刻蚀
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