检测范围
有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、背散射电子成像。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
仪器参数
分辨率：（二次电子、高真空）15kV时1.2nm、 1kV时2.2nm加速电压：0.02～30KV放大倍数：10～2,000,000x
仪器特色&服务特色
清华大学（机械系，天津高端装备研究院），天津工业大学，天津科技大学，中国民航大学，河北工业大学，装甲兵工程学院，中国石油工程技术研究院，国防科技大学，707所，航天科工集团8358所等
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