检测范围
1、配备BSE探头可以观察不同组分的样品表面形貌成分相图。2、配备能谱仪可以对样品表面缺陷进行成分分析。
仪器参数
1、放大倍数：4倍-100万倍；2、最低分辨率：1nm；3、加速电压：200V-30KV；4、样品室直径：300mm宽，420mm深。
仪器特色&服务特色
服务用户包括清华大学深圳研究院、哈尔滨工业大学深圳研究生院、北京大学深圳研究院、深圳光峰光电、深圳光启高等理工研究院、深圳市力合材料有限公司等。典型服务成果：与深圳市力合材料有限公司合作完成十一五、十二五国家科技重大专项，发表专利34篇。
分享
