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聚焦离子束 Zeiss FIB(Is improving)
清华大学
蔡司，Auriga
北京市
我们目前尚未与清华大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

可以进行SEM的分析测试（形貌、成分、晶体结构）；可以进行微纳米尺度加工（切割、焊接、沉积等）；可以进行三维成像（3D-形貌、3D-EDS、3D-EBSD）等。

仪器参数

二次电子像：1.0nm@15kV，1.9nm@1.0kV离子枪：2.5nm束斑，束流1pA-20nA，束能量1kV-30kVEDS：范围：B-U能量分辨率：124eVEBSD： 采集速率600p/S纳米手：Omniprobe 200

仪器特色&服务特色

清华大学、物理所、北京科技大学等
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