检测范围
本仪器适用面广，可以实现常规SEM功能外，还可以进行EDS（能谱仪）、EBSD（电子背散射衍射）、CL（阴极荧光）分析（点、面）；可以进行绝缘体直接观察等。
仪器参数
二次电子像 ? ? ??：0.8nm@15kV，1.4nm@1.0kV能谱仪??EDS????能量分辨率?：124eV? 分析范围：B4~U92电子背散射衍射 EBSD ：采集速率 160p/s阴极荧光 ? ? CL ?:?????波长探测范围? ?PMT ?160nm-900nm? ? ? ? ? ? ????????????? CCD ?200nm-1100nm
仪器特色&服务特色
清华大学、北京大学、地质大学、矿业大学、林业大学、北航、农大、华北电力大学等。
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