检测范围
半导体特性分析系统用于测试半导体器件和纳米器件的电学综合性能，提供测试报告，图形，为设计人员提供数据参考
仪器参数
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1、?数量为4个；
2、?第1个SMU的电流测量范围为0.1fA-100mA；
3、?第2个SMU的电流测量范围为0.1fA-100mA；
4、?第3个SMU的电流测量范围为0.1fA-100mA；
5、?第4个SMU的电流测量范围为0.1fA-1A；
6、SMU单元其他通用技术指标；
7、最大电压源为210V，电压源设定最小分辨率5mV；
8、电压测量范围为1mV-210V，电压测量最小分辨率1mV；
?
9、?频率范围：1KHz-10MHz；
10、频率精度：±0.1%；
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