检测范围
探针台主要应用于半导芯片、集成电路以及封装的测试。
仪器参数
"1、8英寸探针台，移动范围达203mm*203mm或以上；宽大的测试空间，能对裸芯片、封装后的芯片及器件进行测试。
2、配置屏蔽箱（Microchamber），提供EMI/EMC/RFI良好屏蔽及遮光作用
3、载物台可被拉出工作台超过98%，便于放置被测件；平坦度误差小于3um
4、载物台可分区吸附样品，并具备各分区独立真空控制开关，真空吸附样品采取真空孔形式，而非环形真空槽形式
5、晶片载台具备两个独立的隔热附加载台，可放置射频校准片
6、载物台具备加热功能，可实现常温至300°C的温度变化
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