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旋转匀胶机(Spin Coating)
中国科学技术大学
SUSS，LabSpin6 TT
安徽省
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检测范围

真空吸附样品在转盘上，通过旋转使光刻胶均匀地涂布在样品表面，通过设定不同的参数得到不同厚度的光刻胶层

仪器参数

样品尺寸: 2”,3”,4”,6”以及碎片；厚度均匀性：2%；去除厚胶边；支持针筒式自动滴胶
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