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扫描探针显微镜(Scanning probe microscope)
北京科技大学
美国DI公司，Nanoscope，1NM
北京市
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检测范围

测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。

仪器参数

1、最大平面扫描范围：90*90μm；2、最大高度扫描范围：6μm；3、最小解析度：1.5nminX-Y，1AinZdirection；4、杂讯：RMS-0.5A；5、试样最大尺寸：200*200mm，厚度

仪器特色&服务特色

测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面特性。
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