检测范围
利用三束离子束对样品进行快速离子切割或抛光，避免了机械切割研磨带来的样品表面微观损伤，
可以获得高质量的原位微观形貌信息，为电镜观测提供真实可靠的样品制备。该设备可用于样品的
平面和截面抛光。适用于半导体、聚合物、金属等各种材料。
仪器参数
离子束加速电压：1-10keV；?
体式显微镜：最大放大倍率77x；
样品台温度：30度至-150度；?
样品尺寸：25mmx25mmx5mm?
样品移动范围：X：+/-5mm；Y：+/-1mm；Z: 6mm；?
截面硅材料切割速率@10kV：150um/h；
平面最大抛光面积：25mm
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