肖特基场发射扫描电子显微镜(Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope)
中国科学技术大学
美国FEI电子光学公司,Sirion200
安徽省
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检测范围

本仪器具有电子枪亮度高、束流稳定,图像分辨率高、景深大等特点,放大倍率100~300000倍连续可调,可观察物体二次电子像、背散射电子像,同时可进行X射线能谱分析和阴极荧光光谱分析: 1.固体物质表面形貌观察 2.背散射电子像(BSE 3.X射线能谱(EDS) 4.阴极荧光光谱(CL)

仪器参数

分辨率 1.2nm @ 15kV,1.5nm @ 10kV;
能谱分辨率133eV(Mn Ka),分析元素B(5)-- U(92)
阴极荧光: 300 nm — 900 nm
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