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冷场扫描电镜(Cold FESEM)
中国科学技术大学
Hitachi，SU8220
安徽省
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检测范围

采用冷场发射电子枪发射电子，经过加速和电子光路调整，形成纳米电子束斑，然后投射到样品表 面，入射电子束和样品表面原子核以及核外电子碰撞和能量交换过程中，发射出二次电子或者背散 射电子信号，该信号经过电光转换和放大后，可获得样品表面形貌和材料信息。该套设备配

仪器参数

最大加速电压30kV，最小着陆电压0.1kV，分辨率1.0nm，电子束流1－20nA，最大样品尺寸6英寸；XY移动范围50mm
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