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湿法清洗台(Wet Bench)
中国科学技术大学
中国电子科技集团第二研究所，JQX-5
安徽省
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检测范围

主要用于微纳加工领域中衬底材料的清洗、显影等工艺。

仪器参数

主要功能部件：加热腐蚀槽、超声纯水槽、控制系统、管路系统和抽风系统等；
工艺槽：SPM腐蚀槽、HF腐蚀槽、超声纯水槽等；
主要功能：自动上液、在线加热、超声超声清洗、双液位保护、计时、自清洗等；
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