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桌面电子扫描显微镜(Desktop SEM)
中国科学技术大学
Aglient Technologies Singapore(Sales) PTE.Ltd，FESEM 8500
安徽省
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分析仪器

检测范围

利用场发射电子束经过光路调控后，投射到样品表面，通过检测激发的二次或背散射电子进行样品 表面形貌成像。台式机主要采用微机电技术将电子光学系统微型化，实现场发射电镜系统的小型 化。

仪器参数

电子枪：场发射电子源
加速电压：0.5 to 2 kV
束流：0.2 to 1 nA
分辨率：
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