近场光学显微镜
中国科学院力学研究所
Scienta Omicron,Aurorall
北京市
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仪器参数

样品扫描:横向:100×100μm 纵向:20μm 精度为1nm
样品定位:30×30mm,遥控精密压电驱动,步距70nm
探针定位:遥控压电惯性驱动,5×5×10mm,步距50nm
探针针孔直径:≈50nm
剪切力分辨:z:1nm, x/y:10nm
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