我的订单 会员中心 常见问题 意见反馈 服务商入口

提交需求
首页 > 所有仪器> 电子工艺实验设备 > ITO电子蒸发台
联系平台客服
分享
ITO电子蒸发台
广东省半导体产业技术研究院
台湾聚昌科技股份有限公司，Peva-600I
广东省
我们目前尚未与广东省半导体产业技术研究院提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

用于半导体芯片制造环节中ITO、SiO2等化合物的蒸镀

仪器参数

基板尺寸：2、4、6英寸；  基板加热：最高温度350℃，控温精度1℃；  系统极限真空度：2×10-7 torr；  蒸发源数量：6个坩埚；  可蒸发材料：ITO、SiO2等膜厚均匀性：≤±5%；
猜您需要 查看更多>>
如果找不到合适的仪器，您可以提交您的需求，由我们帮您匹配最优的服务商 提交需求