检测范围
对样品进行微观结构分析
仪器参数
（1）放大倍率 10 X -40000 X
（2）观察模式 高真空﹑低真空
（3）电子源 灯丝与电子源组件一体化的电子源
（4）加速电压 15kV,10kV,5kV三种加速电压
（5）样品台 样品移动范围：X：35mm Y：35mm
（6）分辨率 20nm
（7）最大样品尺寸 直径：70 mm，高度：50 mm
（8）检测器 二次电子检测器，背散射电子检测器
（9）数码图像 1280 X 1024像素，BMP,TIF,JPG
（10）自动操作 自动开始、自动聚焦、自动亮度；自动对比度
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