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声纳扫描显微镜
北京市电加工研究所
美国SONIX，L/HF200
北京市
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检测范围

可以检测器件、材料内部的缺陷位置、大小和分布形态等，主要应用于失效分析、可靠性分析、制程控制、品质控制，产品研发、工艺提升等

仪器参数

扫描区域：13"×7"                    扫描精度：1微米
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