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六维激光干涉仪
北京工业大学
美国自动精密工程公司（API公司），XD-6D
北京市
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检测范围

可以测量机床等设备的定位精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角

仪器参数

线性精度：0.5ppm ，测量范围：40米，直线度精度：（1+0.2/m）um ，最大测量范围： +/-500um  +/-800角秒 ，偏摆角和俯仰角精度：（1.0+0.1/m）垂直度精度：+/-1角秒
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