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离子切片机
北京工业大学
日本JEOL株式会社，EM-09100IS
北京市
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检测范围

用于TEM / STEM / SEM / EPMA / AUGER的创新的样品制备方法

仪器参数

基本压强5.0×10-4Pa，工作压强小于3.0×10-3Pa；离子枪束能量0Kev至8KeV；减薄入射角8°至-8°，可以小于4°入射角减薄样品；减薄速度40微米/小时（硅，5千伏）。
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