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射频电源(Radio Frequency Power)
北京印刷学院
北京科恒新仪科技有限公司，RSG3500
北京市
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检测范围

提供高频条件下进行磁控溅射使用

仪器参数

电源频率： 100MHz ±2KHz；最大输出功率：3500 W：3500W×（10%－100%）；精确到1瓦，连续可调；最小输出功率：30 W；响应时间：毫秒级；信号形式：脉冲；输出阻抗：50Ω；功率稳定度：±1％×设定功率；谐波输出：

仪器特色&服务特色

国家自然基金、北京市自然科学基金
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