检测范围
用于功能薄膜材料及器件的直流或脉冲参数测试,测试薄膜材料或器件的I-V曲线、C-V曲线等电学特性数据。
仪器参数
最大电压输出≥200V,电压源分辨率≤10μV;
最大电流输出≥100mA,电流源分辨率≤10fA;电压测量范围包含10μV~200V;电流测量范围包含10fA~100mA;配有多路扩展槽或扩展接口,具有电流放大器、脉冲I-V、C-V以及其他外接标准程控接口仪器的扩展能力。扩展槽及扩展接口的附件与仪器的软件系统兼容;脉冲扫描频率范围包含10KHz~5MHz;
仪器特色&服务特色
国家自然基金、北京市自然科学基金