检测范围
适合在柔性基材上镀制各种介质膜、导电膜）。 主要应用于：柔性线路板、ITO透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/轮船等贴膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池FPD平板显示，柔性显示器件等。
仪器参数
极限真空度：6.67*10-4Pa，恢复真空时间：10分钟，由105~10-1 Pa
基材：聚酯薄膜，幅宽400mm，最大圈径φ400mm，圈绕线速度：0.5~2m/min，单方向卷绕，直流矩形平面磁控溅射靶（二个）；靶基距60mm，靶材，120*600*8（纯钛）
仪器特色&服务特色
国家自然基金、北京市自然科学基金
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