低能离子注入装置
北京农业生物技术研究中心
南昌中北科技有限公司,ZB-C50A
北京市
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仪器参数

"离子能量:0-50keV
离子种类:N、Ar等常见气体的离子;束径直径:20cm;总束流强度:15mA;极限真空:10-3Pa;功率:12kW;尺寸:高2m,长2m,深1.5m"
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