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石墨烯高温化学气相沉积系统(Aixtron graphene HT CVD (Black Magic))
北京工业大学
Aixtron，石墨烯高温化学气相淀积系统，规格BM HT SYSTEM
北京市
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检测范围

样品退火，金属、绝缘体和半导体上的石墨烯CVD生长，碳纳米管生长。最大面积2英寸，当使用最高温度1700摄氏度时，最大面积降为1平方厘米。

仪器参数

最高温度1700摄氏度，最大样品面积1平方厘米，可进行低压、近常压以及等离子体增强CVD。
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