检测范围
采用扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时，配置EDS探测器(能谱仪)，快速实现对材料微区化学成分进行定性及半定量分析。
仪器参数
30kV极限辨率5nm；电子枪为发叉式钨丝阴极，预对中灯丝；放大倍数20×~100000×；加速电压0.1kV~30kV；SE探测器，配备EDS分析探测器；真空系统：全自动涡轮分子泵+机械泵系统；样品台四维可调，马达驱动，X：±35mm；Y：±35mm；Z：0-50mm；T：0-15°；最大样品尺寸：高45mm，直径70mm；外形尺寸：400(W)x 600(L)x 550(H)mm；重量：100 kg。
分享
