检测范围
ContourGT-K三维光学显微镜集三十年表面测量技术之大成，将创新技术与业界测量经验完美融合到一套非接触式表面测量系统上，凭借低噪音、高速度、高分辨精确测量，满足各类测试需求。任意选择不同的放大倍率，在极宽的测量范围内，对样品表面形状和纹理进行表征，在任何倍率下
仪器参数
1.1测量原理：非接触、三维、白光扫描干涉仪
1.2扫描装置：闭环扫描
1.3Z方向测试范围 0.01nm 到10mm
1.4 Z方向分辨率0.01nm， RMS重现性 ≤0.01nm
1.5台阶测量精度：≤0.75%；重复性≤0.1%@ 1σ
1.6扫描速度：≥45μm/sec
1.7横向分辨率：0.38～9.5μm
1.8样品反射率适用范围：0.05% - 100%
1.9最大适用样品高度：100mm
1.10闭环控制扫描：0.01nm 到10mm全范围实现闭环扫描，能够保证测量的全范围精度。
仪器特色&服务特色
国家自然科学基金
分享
