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电子探针(electron probe)
北京石油化工学院
岛津制造所，EPMA-1600
北京市
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检测范围

本仪器用于固态物质如地质学、材料学、微电子学等新、杂、微、细矿物的分析，可在微区领域进行高灵敏度的元素分析。EPMA-1600型配备高性能CeBix灯丝，实现了在亚微米领域的分析实用化

仪器参数

1. 分析元素 5B ——92U
2.  X射线分光器 高灵敏度型
3.  最大样品尺寸 100mm× 5mmt
4.  X射线取出角 52.5°
5.  二次电子分辨率 6nm
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