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扫描电子显微镜
北方工业大学
自主研发，SIGMA HV
北京市
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检测范围

可以获取微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、图层和多层的图像信息，可以快速成像、简化分析程序、提高工作效率

仪器参数

分辨率5.0nm(1KV)1.5nm(15KV)；倍率X20～500,000；到达真空度～10-7Pa电子枪真空度～10-4Pa(样品室)；
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