四管高温扩散炉
英利集团有限公司
中国电子科技集团第四十八研究所,M511-4W/UM
河北省
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检测范围

p型硅片表面扩散磷元素,形成结深0.3-0.5μm的p-n结。

仪器参数

加热温度范围:25℃---870℃
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