检测范围
该设备可用于测量特征尺寸只有数微米的微器件上的不同点的纳米级振动和位移信号，并给出不同点之间的相位关系，从而获知微器件整体振动模态。
仪器参数
（1）光源波长：632.8nm；
（2）最小束径：垂直振动（Z向）10μm
水平振动（X向）15μm；
（3）测量频率范围：DC—1.5MHz；
（4）工作台移动范围20mm，最小步距10μm；
（5）位移测量范围(Z 轴)：±32μm@1nm 分辨率，±320μm@10nm 分辨率；
附件：锁相放大器
频率范围： 1mHz to 100kHz ；
相位稳定性： 0.01°/°C；
增益稳定性：±100ppm/°C；
最小时间常数： 10μs；
仪器特色&服务特色
横向压电系数及谐振频率测量系统示意图
Q 曲线和拟合结果
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