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光学三维轮廓仪（Wyko）(Optical 3D profile(Wyko))
中国科学技术大学
Weeko公司，NT1100
安徽省
我们目前尚未与中国科学技术大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

WYKO表面轮廓仪是一种非接触式光学仪器。由于是非接触测量，WYKO对样品基本上没有损害。实样品可采用两种不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则是较精确测量台阶高度。同时，此仪器具有测量范围大，精度高等优点。

仪器参数

（（1）测量范围：PSI模式≤160nm
VSI≥160nm；
（2）分辨率：选用1.5×镜头约

仪器特色&服务特色

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