检测范围
通过测量宽光谱内不同波长光束经过样品反射的偏振态变化，获得薄膜厚度信息及从深
紫外到近红外的宽光谱材料光学特性。具有极高的厚度测量灵敏度，并且可以分析带粗糙表面
和未知材料组分的多层复杂薄膜结构
仪器参数
光谱范围：190-1700nm；光谱分辨率：0.5nm；束斑直径：3mm*12mm、365um*470um（microspot）样品尺寸：z
仪器特色&服务特色
利用椭偏仪对单层吸收膜、双层膜及多层膜进行测量，得到材料的光学常数折射率及吸收系数，进而获得其介电常数，实现固体薄膜光学性质的测量，也可进行离子注入损伤分布测量、超晶格、粗糙表面、界面的测量；在微电子领域中研究薄膜生长过程、薄膜厚度、半导体的表面状况及不同材料的界面情况等；
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