检测范围
探针根据设定的扫描长度、速度和接触力在样品表面移动，由于表面有微小的峰谷使探针
在移动的同时还沿峰谷做上下运动，探针的运动情况反映了样品表面的高度起伏变化。主要用
于材料的结构及表面解析。
仪器参数
扫描长度范围：200mm；垂直测量范围
仪器特色&服务特色
在MEMS及微流体技术行业中，可在大范围内测量感光材料的垂直台阶和粗糙度；在太阳能电池领域中广泛应用于太阳能面板导电银栅线临界尺寸和薄膜厚度的测量；在半导体工艺中可以通过台阶高度测试功能，精确计算薄膜的厚度、刻蚀沟槽的深度和宽度；在纳米技术领域中可以通过测试薄膜的弯曲变化，测量微纳米镀层的内应力等。
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