场发射扫描电子显微镜(Field Emission Scanning Electron Microscope)
深圳先进技术研究院
FEI,Nova NanoSEM 450
广东省
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所有仪器

物理测试

分析仪器

检测范围

观察样品表面微观形貌,进行微区、亚微区成分定性和定量以及元素分布分析。

仪器参数

高真空分辨率:1nm ( 15KV),1.6 nm (1KV)
低真空分辨率:1.5nm(10kV,Helix探测器),1.8nm(3kVHelix探测器)
放大倍数:40倍~40万倍
加速电压:加速电压 50V - 30kV,连续可调
倾斜角度:-10°~70°
样品台移动范围:X=Y=110mm
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