检测范围
观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背反射电子像，配备高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
仪器参数
分辨率：1.0nm/15kV，1.3nm/1kV
加速电压：0.1~30kV，0.1 kV/步
放大倍数：12~1,000,000倍，连续可调
电子枪：冷场发射或热场发射型
？ 检测器：高低位检测器可选择接收二次电子像或背散射电子像
样品台：5轴马达驱动
样品室：宽度或内部直径300mm，高度270mm
真空系统：无油磁悬浮涡轮分子泵、离子泵
附件：
X射线能谱仪：圆形对称SDD探头，MnK分辨率129eV；元素分析范围B~U
自动喷金制样系统
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