光刻机-测试100仪器共享平台

光刻机
所在单位：	浙江大学
品牌/型号：	德国Karl Suss公司，MA6-BSA 双面对准下1-1000微米
所在地区：	浙江省
仪器说明：	我们目前尚未与浙江大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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双面光刻对准（最小线宽0.7μm）

1.350W-500W汞灯，紫外NUV，波长280-450nm。 2.精度：4寸晶圆误差+/-2％，6寸晶圆误差+/-4％。 3.对准：双面对准下1-1000微米解析度。

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