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3D光学轮廓仪(3D Optical Profiler)
深圳清华大学研究院
ZYGO，New View7200
广东省
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分析仪器

检测范围

动态MEMS测量；薄膜分析；测量次纳米表面形貌；表面平整度测量

仪器参数

纵向扫描范围 150μm，可拓展到20mm
纵向分辨率 ＜0.1nm
横向分辨率 0.36～9.5μm，与所选物镜有关
扫描速度        ≤26μm/sec,与所选的CCD和扫描模式有关
最大数据点 307200，可选984064
RMS重复性 ＜0.01 nm， RMSσ
台阶测量        准确度 ≤ 0.75%
重复性≤ 0.1% @ 1σ
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