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场发射扫描电镜(Field emission scanning electron microscopy)
深圳清华大学研究院
TESCAN，Mira3 Xmh
广东省
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检测范围

用于样品表面、断口等不同放大范围观察分析

仪器参数

分辨率：1.0nm (30kV),1.2nm (15kV),2.0nm(3kV)
放大倍数：2×-1,000,000×连续可调；
电子光学工作模式：分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样；
内部尺寸：300mm宽×330mm深
样品高度： 最大145mm
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