微波等离子体化学气相沉积系统-测试100仪器共享平台

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微波等离子体化学气相沉积系统(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition System)
所在单位：	西南大学
品牌/型号：	沈科仪，ECR400
所在地区：	重庆市
仪器说明：	我们目前尚未与西南大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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沉积类金刚石薄膜

微波源N=1.5KW,f=2450MHz 连续可调。ECR离子发生器：调节微波输出功率，磁场强度，偏压，实现低气压放电；放电室：约Ф200×250（mm），沉积室：约Ф500×500（mm）