扫描电子显微镜
浙江师范大学
日本日立高新技术公司,S-4800
浙江省
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检测范围

该电镜的电子发射源为冷场,物镜为半浸没式。在高加速电压(15kV)下,S-4800的二次电子图像分辨率为1nm,这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压(1kV)下的二次电子图像分辨率为2nm,这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件

仪器参数

二次电子分辨率:1.0nm(15kV),2.0nm(1kV);背散射电子分辨率:3.0nm(15kV);电子枪:冷场发射电子源;加速电压:0.5~30 kV(0.1 kV/步,可变);放大倍率:×30~×800000。X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92。喷金喷碳装置可以通特定的气氛保护样品。
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