检测范围
1、用于微观三维形貌观察与测量、微观几何尺寸的测量；要求设备具有不低于20nm的测量精度，快速高效的测量实现方法；2、具有金相分析功能及高精度3D形貌测量；2D真彩色照片拍摄和测量；表面轮廓曲线和三维轮廓曲面测量；面粗糙度测量；线粗糙度测量；颗粒分析测量；几何测量
仪器参数
光学部分：光学变焦优于：1X~6X；物镜放大倍数：至少包含5X,10X,20X,50X，及不小于100X以上，总放大倍数100~17000倍；长工作距离物镜50X：工作距离10mm以上；物镜转盘：至少6个物镜装载孔，测量方便；最高倍物镜的数值孔径：不小于0.95；光源波长：405~410 。测量精度指标：XY轴：分辨率优于120nm，重复精度优于20nm（3σ）；Z轴：分辨率优于10nm，重复精度优于20nm（1σ），最大可容许测量高度不小于5mm；
分享
