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高精密激光图形发生器
中国计量学院
苏大维格光电科技股份有限公司，MicroLab 4A100
浙江省
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检测范围

为新一代2微米-15微米线宽的柔性印刷电子、平板和手机柔性电路、大尺寸触控导电膜、触控屏掩膜板的制备提供具有国际先进水平的高端智能装备

仪器参数

光刻速率达到3000平方毫米/分钟

仪器特色&服务特色

浙江省特种设备与能源计量创平台
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