检测范围
属探针式扫描电子显微镜，能对样品进行高分辨率的观察，得到几千倍至几百万倍的样品表面三维像，而且能够获得相关尺度下样品的力学、电学、磁学、电化学、光电子等相关性能。
仪器参数
样品仓具真空、温度、湿度等控制功能；测定模式：接触、动态、相位、力调制、磁力、水平力模式；分辨率：水平方向0.2nm，垂直方向0.01nm；样品装载方式：头部滑动机构最大样品形状：24mm*8mm，最大移动范围：6mm*6mm；光学显微镜系统：从上方得到样品与探针的光学图像，配备CCD相机，进行主机监控下的观察；在显示器上得到高于500倍的放大图像。
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