检测范围
1）观测材料表面形貌；2）微区元素分析；3）电子束曝光制作微纳器件；4）纳米机械手原位测量纳米材料和器件的电学性能；5）STEM可观察5nm以下样品形貌。
仪器参数
1. 分辨率 高真空模式 1.0nm @ 15kv；1.8nm @ 1kv；0.8nm @ 30kv(stem探测器)；低真空模式 1.5nm @ 10kv(helix探测器)；1.8nm @ 3kv(helix探测器)；2. 加速电压 200v - 30kv,连续可调；3. 电子束流范围 0.3pa - 2
仪器特色&服务特色
形貌观察
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